MicroFLOW SF6 .100 Vol.-%氣體傳感器

描述

六氟化硫在許多應用中仍是必須的，作為(wei) 一種示蹤、保護或絕緣氣體(ti) 。由於(yu) SF6的高溫室效應，對氣體(ti) 的負責任處理變得更加重要。MicroFLOW SF6.100 Vol.-%傳(chuan) 感器適用於(yu) 需要精確和可靠的廣泛應用領域。

應用領域

工業(ye) ：SF6用於(yu) 等離子蝕刻工藝，在半導體(ti) 材料如矽、二氧化矽和其他化合物上創建精確圖案。該氣體(ti) 被用在特殊的蝕刻室中，通過施加高頻能量轉化為(wei) 等離子體(ti) 。這個(ge) 等離子體(ti) 然後選擇性地與(yu) 材料反應，使得在一個(ge) 非常受控和準確的過程中精確地雕刻或移除材料。

在鋁的生產(chan) 中，六氟化硫被用作示蹤氣體(ti) ，以提高生產(chan) 效率並盡早檢測潛在問題。它還用於(yu) 監測最終產(chan) 品的質量和一致性。

能源技術：在電力供應領域，SF6被用作高壓開關(guan) 設備和變壓器中的絕緣氣體(ti) 和冷卻介質。測量六氟化硫對於(yu) 早期識別泄漏以及監測係統狀況非常重要。

測量精度

我們(men) 的NDIR氣體(ti) 傳(chuan) 感器在測量和監測六氟化硫時能夠獲得精確的結果。通過10點線性化，在整個(ge) 測量範圍內(nei) ，測量的氣體(ti) 濃度的最大偏差小於(yu) 1%。

傳(chuan) 感器可靠地檢測最小氣體(ti) 濃度，以識別氣體(ti) 混合物中的最微小變化。您可以自由選擇應用程序的測量範圍，例如從(cong) 整個(ge) 0到100 vol.-%的測量範圍中的90 vol.-%。

由µP.sens壓力傳(chuan) 感器在樣品池塊中補償(chang) 任何因壓力波動或氣壓變化引起的偏差（< 0.1 % / 10 hPa），消除了潛在的泄漏或測量值的偽(wei) 造。通過將壓力傳(chuan) 感器集成到樣品池塊中，與(yu) 類似傳(chuan) 感器相比，模塊的整體(ti) 空間需求減少了。

每個(ge) 傳(chuan) 感器都確保了溫度補償(chang) 。每個(ge) 模塊的測試和校準在氣候室中進行，使用特定濃度的測試氣體(ti) 在測量過程中記錄和調整誤差曲線。測試和校準在5至45攝氏度的傳(chuan) 感器操作範圍內(nei) 進行，包括零點和跨度點，以及傳(chuan) 感器操作範圍內(nei) 的其他典型溫度。最大偏差每10K小於(yu) 1%。

功能範圍

RS232和CAN-Bus數字接口是行業(ye) 標準配置。使用可選配件和MARSlight軟件為(wei) 您的配置選擇一個(ge) 接口。遵循軟件手冊(ce) 中的說明。

樣品池針對測量高達100%體(ti) 積比的六氟化硫進行了優(you) 化。

與(yu) 常規傳(chuan) 感器相比，我們(men) 的傳(chuan) 感器允許在300 - 1200 hPa的寬壓力範圍內(nei) 進行測量。例如，傳(chuan) 感器適合更高地理位置或需要負壓測量的係統。

使用壽命

陽極氧化鋁氣體(ti) 連接塊確保在惡劣環境條件下的長壽命和可靠性。不鏽鋼氣體(ti) 連接進一步增強了耐用性。

在操作溫度範圍內(nei) 進行的氣候室測試消除了組件的過早故障。

安裝和操作

免費下載MARS light軟件用於(yu) 氣體(ti) 傳(chuan) 感器，立即開始使用您的氣體(ti) 傳(chuan) 感器。軟件消除了創建自己的軟件的需要，並在初始測試測量上節省時間。傳(chuan) 感器消耗不到1瓦，可以使用電池供電的設備。易於(yu) 集成，具有9到30伏的寬電壓範圍，使其可以連接到大多數現有係統。

根據具體(ti) 需求，分析前可能需要對氣體(ti) 進行預冷或加熱。為(wei) 了防止樣品池中的潛在氣體(ti) 凝結效應，可以監測測量係統中的氣體(ti) 溫度。

我們(men) 的模塊化設計使清潔和維護變得簡單，不同於(yu) 許多同類產(chan) 品。

有關(guan) 安裝和操作的詳細信息可以在用戶手冊(ce) 中找到。

我們(men) 的數據表簡要列出了最重要的技術細節。我們(men) 將很高興(xing) 就您個(ge) 別的問題和要求提供谘詢。

應用

l在高功率應用中的泄漏監測

l絕緣氣體(ti) 的監測

l絕緣氣體(ti) 的質量保證

產(chan) 品優(you) 勢

l壓力值和氣壓變化的最小偏差（< 0.1% / 10 hPa）

l工業(ye) 上常用的接口可用

l由於(yu) 高質量材料而維護成本低

l可用於(yu) 電池供電設備

l可以監測測量係統中的氣體(ti) 溫度

l維護和清潔輕鬆完成

特點

l10點線性化

l通過集成壓力傳(chuan) 感器進行壓力補償(chang)

l溫度補償(chang)

l數字接口RS232/CAN-Bus

l具有高化學抗性的堅固設計

l可測量氣體(ti) 溫度

l模塊化設計

l對CF4沒有交叉靈敏度

技術參數

1.                      零點氣體(ti) 測量：氮氣；相關(guan) 條件為(wei) Pa = 1020 hPa；Ta = 25°C；流量 = 1 l/min。

2.                      完整規格，取決(jue) 於(yu) 環境條件。

3.                      在零點處。

4.                      具有量程溫度補償(chang) 。

5.                      建議在穩定的氣候條件下使用，請檢查露點注意事項。

機械製圖

俯視圖

前視圖

側(ce) 視圖

產(chan) 品概述