Layertec 優質基材

Layertec 優(you) 質基材

腔衰蕩時間光譜儀(yi) 或EUV鏡的特殊激光應用的優(you) 質基材的特點是：

Ø精確的幾何形狀：有關(guan) 直徑，厚度，折痕或曲率半徑等幾何特性的公差，請谘詢客服

Ø表麵粗糙度

Ø表麵形狀公差

Ø拋光表麵上的缺陷數量

LAYERTEC針對所有這些參數優(you) 化了拋光程序。 在下文中，我們(men) 就會(hui) 展示使用熔融二氧化矽和氟化鈣可獲得的出色結果。

規格

表麵粗糙度

ØRMS-熔融石英和氟化鈣的平麵基板的粗糙度<1.5Å

Ø在光滑彎曲的球形熔融石英表麵上得到相似的結果（取決(jue) 於(yu) 直徑和曲率半徑的比率）

Ø即使在紫外線範圍內(nei) ，基材的散射損耗也非常低：

ØTS = 2 x 10 – 5 at 248nm (total backscattering)

ØTS = 5.6 x 10 – 4 (total backscattering) and 7.5 x 10 – 4 (forward scattering) at 193 nm

Ø即使在DUV / VUV波長範圍內(nei) 也適用於(yu) 低損耗光學元件

高質量拋光熔融石英基板的功率譜密度（PSD）曲線（在FhG IOF Jena上執行的測量）

高質量拋光CaF2基板（在FhG IOF Jena執行）的3D AFM測量，均方根粗糙度0.12nm

Layertec 優(you) 質基材

表麵形狀公差

表麵質量

如何選基材

基材的價(jia) 格和質量取決(jue) 於(yu) 材料，形狀，尺寸，公差和拋光質量。在此站點上，我們(men) 將提供有關(guan) 上述每個(ge) 問題的更多信息。但是請注意：所有這些解釋都非常簡化。有關(guan) 詳細規範，請閱讀相關(guan) 標準的全文。我們(men) 也很高興(xing) 通過電話討論您的詳細問題。

材料

第一個(ge) 決(jue) 定是基板的材料。對於(yu) 高傳(chuan) 輸的所有波長，它都應無吸收。如果沒有發生傳(chuan) 輸，則可以使用低成本的材料，例如適用於(yu) 金屬鏡的Borofloat®（SCHOTT AG）。關(guan) 於(yu) 表麵形狀公差，低的熱膨脹是有利的。

形狀

必須分別為(wei) 兩(liang) 側(ce) 定形狀。基本上，平麵，凸麵和凹麵的所有組合都是可能的。特殊角色扮演著角色。可以在各種表麵（平麵以及凸麵或凹麵）上應用楔形物（例如30 arcmin）。對於(yu) 彎曲的基板，半徑符號有不同的約定。有時，“ +”表示凸形，“-”表示凹形。其他用戶將“ +”和“-”稱為(wei) 光傳(chuan) 播。在這種情況下，“ +”表示“沿傳(chuan) 播方向的曲率”，“-”表示“沿傳(chuan) 播方向的曲率”。為(wei) 避免混淆，請分別在單詞中或在首字母縮寫(xie) CC或CX上定凹形或凸形。

尺寸

主要決(jue) 定是邊緣長度或直徑。

除非另有說明，否則厚度描述是指基板的最大厚度，即平凸基板的中心厚度和平凹基板的邊緣厚度。因此，在較厚的一側(ce) 測量了楔形板。

為(wei) 了獲得良好的形狀公差，應該注意直徑和厚度的比率。根據經驗，厚度應為(wei) 直徑的五分之一。當然，其他比率也是可能的，但是生產(chan) 支出增加了。

規範不同類型的基板厚度的慣例（示意圖）

公差範圍

除尺寸和材料外，公差對價(jia) 格重要。當然，光學元件必須安裝在安裝座中，以使直徑不應大於(yu) 規定的直徑。最常見的規格是– 0.1mm。 通常，厚度在兩(liang) 個(ge) 方向上都是自由的。LAYERTEC通常定其公差為(wei) ±0.1mm。關(guan) 於(yu) 楔形，並行性和對中的規範存在很多困惑。請注意，楔形和平行度描述了光學表麵之間的角度，而居中描述了光學表麵和側(ce) 麵之間的角度（見圖2）。

圖2關(guan) 於(yu) 楔形和定心的各種平麵基板（示意圖）

LAYERTEC標準基材的平行度優(you) 於(yu) 5arcmin。 特製的並行可能具有低至10arcsec的並行度。 標準楔形基板的楔形度為(wei) 0.5°或1°。取決(jue) 於(yu) 基板尺寸，較大的楔角是可能的。通常，與(yu) 側(ce) 麵成90°角的精度為(wei) 20arcmin。定心是附加的光學處理，可將這種精度提高到幾弧分。

使用相同的術語，可以描述彎曲的基材。鏡子和鏡片之間應該有區別。鏡子基板的側(ce) 麵是平行的。然而，光軸的方向可以相對於(yu) 側(ce) 麵傾(qing) 斜。居中後，側(ce) 麵平行於(yu) 光軸。這樣，鏡麵基板就變成了透鏡。

表麵形狀公差

表麵形狀公差通常由幹涉儀(yi) 測量，並以λ為(wei) 參考值，λ是參考波長。無需進一步說明，參考波長為(wei) λ= 546nm。為(wei) 避免混淆，必須清楚地區分平坦度，功率和不規則度。下麵，將解釋平麵的平坦度和不規則度。

圖3區分平麵度，功率和不規則性的示意圖。第一基板的平坦度為(wei) λ/ 10。第二基板具有λ/ 4的冪以及λ/ 10的不規則度。第三基板在每個(ge) 表麵上具有λ/ 4的不規則性，但是透射波前的變形僅(jin) 為(wei) λ/ 10。

一般而言，每個(ge) 實際表麵或多或少都是彎曲的。想象一下，真實表麵的“峰”和“穀”被平行平麵覆蓋（見圖3）。這些平麵之間的距離稱為(wei) 平坦度。這種平坦性包括兩(liang) 個(ge) 方麵。第一個(ge) 貢獻是表麵的球形彎曲，這可以用兩(liang) 個(ge) 適合的“峰”和“穀”擬合球來描述。相對於(yu) 理想平麵的該曲率的弧矢表示為(wei) 冪。這種球形彎曲不會(hui) 影響反射光束的質量。它隻是導致有限的焦距。第二個(ge) 貢獻是最佳擬合球體(ti) 的偏差，稱為(wei) 不規則性。這是光束質量重要的值。

ISO 10110標準為(wei) 定表麵形狀公差提供了足夠的機會(hui) 。與(yu) 測量結果具有最佳的可比性，所有值均以幹涉條紋的數量給出。應將其讀取為(wei) 1條紋=λ/ 2。在圖紙中，將表麵形狀公差分配為(wei) 第三項：3 /功率（不規則性）。

示例：可以將規則的（λ/ 10）稍微彎曲（λ/ 4）的光學器件定為(wei) ：3 / 0.5（0.2）。

僅(jin) 將光學器件用於(yu) 傳(chuan) 輸（例如激光窗口），功率和不規則性都無關(guan) 緊要。如果光學元件在整個(ge) 自由孔徑上具有相同的厚度，則透射光束不會(hui) 受到影響。與(yu) 平坦度相似的方式定義(yi) 了與(yu) 該相等性的偏差。它也以參考波長的一部分進行測量，稱為(wei) “透射波陣麵”。例如，圖3中的窗口的平坦度為(wei) λ/ 4，但透射波前為(wei) λ/ 10。”

塗層應力

通常，薄的基材無法承受塗層應力。塗層將導致球形變形。這意味著發生有限的矢狀麵或力量。對於(yu) 圓形基板，不規則性不受此問題影響。認真對待上述值，平坦度變差。然而，光束的質量不受影響。

瑕疵

MIL-O -13830和ISO10110是描述光學元件的不同標準。這通常會(hui) 導致模糊不清。 本上，應該區分劃痕和凹痕。MIL-O-13830中的劃痕和挖掘深度數字表示最大的劃痕寬度（以十分之一微米為(wei) 單位）和最大挖掘直徑（以百分之一毫米為(wei) 單位）。最大尺寸挖掘可以是直徑的每20mm一次。根據ISO10110，缺陷定為(wei) 項目編號5。等級編號表示二次區域的邊長（以毫米為(wei) 單位），它等於(yu) 總缺陷區域。因此5 / 1x0.025表示表麵缺陷麵積為(wei) 0.000625 mm2。此外，前導L表示任何長度的刮擦。寬度為(wei) 4微米的長刮擦將定為(wei) L 1 x 0.004。

標準質量基材

LAYERTEC的精密光學設備可生產(chan) 平麵和球麵彎曲的鏡麵基板，熔融石英的透鏡和棱鏡，BK7和SF10等光學玻璃以及某些晶體(ti) 材料，例如 氟化鈣。在以下內(nei) 容中，您可以找到有關(guan) 我們(men) 標準基板規格的信息。請不要猶豫，與(yu) 我們(men) 聯係以獲取其他尺寸，形狀，半徑和材料或特殊組件，例如棱鏡，標準具或彎月形透鏡。

規格

材料

熔融石英：Corning7980®或Lithosil®Q2（SCHOTT AG）

用於(yu) 高功率應用的熔融石英：Suprasil®300 / 3001/3002（Heraeus）

紫外熔融石英（準分子級）Lithosil®Q1 E -193和E-248（SCHOTT AG）紅外熔融石英：Infrasil302®（Heraeus）

BK7®：光學玻璃（SCHOTT AG）

CaF2：從(cong) 紫外線到紅外都是透明的，可根據要求提供準分子級質量的價(jia) 格

藍寶石：隨機取向，單晶，可根據要求提供特殊取向

YAG：未摻雜，隨機取向，單晶

∅: 直徑 [mm]

t: 厚度 [mm]

外型尺寸

Ø熔融石英，BK7：直徑6.35毫米…508毫米（¼英寸…20英寸）

Ø氟化鈣，YAG，藍寶石：直徑6.35毫米至50.8毫米（¼英寸至2英寸）

Ø可根據要求提供矩形基板和其他直徑

平麵基板，平行和楔形

Ø標準平麵基板：楔形<5arcmin

Ø標準平行：楔形<1arcmin或楔形<10arcsec

Ø標準楔子：楔形= 30arcmin或楔形= 1deg

平凹和平凸基材

Ø標準半徑：25、30、38、50、75、100、150、200、250、300、400、500、600、750、1000、2000、3000、4000、5000mm

Ø楔形：CaF2：楔形<15min，所有其他材料：楔形<5min

公差範圍

Ø直徑：+0毫米，-0.1毫米

Ø厚度：±0.1mm

•∅：直徑[mm]

•te：邊緣厚度[mm]

•tc：中心厚度[mm]

表麵形狀公差

表麵質量